五軸半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，具有獨(dú)立可控的2個旋轉(zhuǎn)手臂?？芍С? FOUP到3 FOUP的EFEM的取片工作。該機(jī)器人具有高精度，高剛性。